Home > 製品紹介 > Semiconductor / LCD Division > 装置モジュール別の主な実績 P5000、Centura5200 DPS、DPS+chamber upgrade及び移設 Lamエッチャーupgrade及びパーツ修理         1) TCP 9600 からTCP 9600SEIIへのシステム改造         2) RB 4520からRB 4420 (Rainbow)への改造         3) ClampシステムからESCシステムへの転換改造(Rainbow &TCP)         4) Rainbow、TCP、Allianceモデルの移設及びサービス         Applied Materials(AMAT) Mirra Stand aloneタイプと          On-trak洗浄器及びMirra Mesaシリーズの改造、移設、          waferタイプによる改造(ノッチからフラットタイプ)と4インチ、          6インチから8インチへの改造 –工程部品の製作供給 Process Kit supply EBARA CMP EPO、F-REX 200 SeriesHead upgrade、インチ改造、          移設 – 工程部品の供給 米IPEC社CMPの372、472、776モデルの移設及び改造・補修、部品供給               米Applied Materials, Inc.（AMAT） Endura5500移設及び          chamber　upgrade Centura5200、Producer chamber upgrade Mattson  SHS2000、2800改造及び移設 パーツ修理及び工程パーツの製作供給 Edward及びEbara Pump修理 米Axcelis社のNOVA装置及び日本Nissin社のEXCEED2000モデルの          移設及び改造・補修 S-8820、8840、9200モデルの改造・補修及び移設、パーツの供給 OP series移設